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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

帶蒸發(fā)器定制款CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1600-CVD

主要用途:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜,該設(shè)備可在目標(biāo)材料表面形成密集的HfCl4涂層.

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設(shè)備介紹

       該設(shè)備由蒸發(fā)器、混合器和反應(yīng)器組成。采用氧化鋁纖維耐火材料。設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,30段可編程溫控系統(tǒng),氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡(jiǎn)單、方便設(shè)置各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)。該CVD高溫爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜,該CVD鍍膜設(shè)備可在目標(biāo)材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。Suu高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • PID控溫系統(tǒng)

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃

  • 觸屏操作方式

    氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡(jiǎn)單、方便設(shè)置各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)

  • 專(zhuān)利技術(shù)法蘭

    專(zhuān)利技術(shù)快接法蘭,帶閥門(mén)和相關(guān)接口,拆裝方便,可抽真空充保護(hù)氣體至微正壓

技術(shù)參數(shù) 

產(chǎn)品名稱(chēng) CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1600-CVD
第一部分: 定制坩堝爐(蒸發(fā)系統(tǒng))
使用溫度 超過(guò)500℃
工作區(qū)尺寸 Φ150 x H320mm(不銹鋼內(nèi)膽的有效尺寸)
(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
坩堝 不銹鋼材質(zhì),形式及具體要求可定制
加熱元件 電阻絲
升溫速率 0-10°C/min
漏率 20Pa/min
第二部分:定制小管式爐(混氣系統(tǒng))
使用溫度 超過(guò)500℃
工作區(qū)尺寸 Φ150 x H200mm(不銹鋼內(nèi)膽尺寸)
(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
混氣罐 不銹鋼
加熱元件 電阻絲
漏率 20Pa/min
第三部分  1600度管式爐(反應(yīng)器)
最高溫度 1600℃
長(zhǎng)期工作溫度 1500℃
爐管尺寸 OD100/ID90,加熱區(qū)300mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
爐管材質(zhì) 高純氧化鋁管
加熱元件 硅鉬棒
漏率 20Pa/min
真空度 抽真空度到-7*10-3Pa
壓力范圍不超過(guò)0.02MPa
更多參數(shù)可根據(jù)需求定制

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型,以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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