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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:KJ-CVD-1700-60*300-F3

主要用途:該高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用智能溫度控制系統(tǒng),氣體流量控制精度高,易于操作,出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué),科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

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設(shè)備介紹

        該高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用智能溫度控制系統(tǒng),氣體流量控制精度高,易于操作,良好的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué),科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。YQs高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 剛玉材質(zhì)爐管

    爐管采用剛玉材質(zhì),工作溫度可達(dá)1600度,具有高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性,加熱均勻性好

  • PID自動溫控

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃

  • 良好的氣密系統(tǒng)

    爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、密封性強(qiáng),法蘭帶閥門和相關(guān)接口,可抽真空通氣氛

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號 KJ-CVD-1700-60*300-F3
加熱部分 顯示 LED
最高溫度 1700℃
工作溫度 ≤1600℃
升溫速率 建議: 0~10℃/min
加溫溫區(qū) 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
加熱元件 硅鉬棒
熱電偶 B 型
控溫精度 ±1℃
爐管尺寸 60 x 900mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
剛玉管
溫度控制 PID自動控制
升溫速率 30段可編程
最大工作壓力 0.02MPa
真空部分 真空泵總成 (旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴(kuò)散泵)   冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。
真空測量 復(fù)合真空計(jì)。
真空法蘭 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭
質(zhì)量流量計(jì)(3條氣體路線Ar、H2、CH4) 流量范圍 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
輸入電壓信號 0 V ~ +5.00 V
輸出電壓信號 0 V ~ +5.00 V
 

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

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