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低真空CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：KJ-T1200-S60-CVD
主要用途：此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
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設備介紹
此款CVD系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了智能溫度控制系統(tǒng)，高精度氣體流量控制，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。此款CVD高溫管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。產(chǎn)品優(yōu)勢
真空度自動控制?中低真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能
耐沖擊高真空系統(tǒng)高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊真空泵，防止意外漏氣造成真空泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命
PID程控控制系統(tǒng)控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖
技術參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 低真空CVD系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S60-CVD |
| 管式爐部分 | |
| 爐體結(jié)構 | 雙層殼體結(jié)構，配有冷風系統(tǒng)自動降溫爐殼溫度 |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min |
| 爐管材料 | 高純石英管 |
| 爐管尺寸 | OD:60mm* ID:54mm * 長1200mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） 儀器使用前必須放入管堵，防止熱輻射 |
| 加熱區(qū)長度 | 220+220+220mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 法蘭 | 不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥 |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 含鉬合金電阻絲 |
| 測溫元件 | N型熱電偶 |
| 進出氣口 | 法蘭上含有真空連接口，進出氣口 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 質(zhì)量流量計 | 四路精密質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC2 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC3 范圍: 0-500 sccm(量程可選) MFC4 范圍: 0-500 sccm(量程可選) 氣路:4 路 流量精度: 0.2% |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 真空泵 | 1.旋片泵抽速2L/S 2.極限真空度：7*10-2Torr 3.數(shù)顯真空計，實時顯示真空度，真空顯示范圍：1×105--1×10-1pa |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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