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三溫區(qū)CVD管式爐
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-TCVD1600-L80LB3
主要用途：該設(shè)備適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
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設(shè)備介紹
科佳KJ-TCVD1600-L80LB3是一款高溫CVD管式爐，該設(shè)備采用剛玉爐管，工作溫度可達(dá)1600℃，可抽真空通氣氛，發(fā)熱元件采用優(yōu)良MoSi2，爐膛采用陶瓷纖維材料，具有安全可靠、操作方便、控溫精度高、保溫效果好、爐溫均勻性高等特點(diǎn)。該設(shè)備適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
高純氧化鋁纖維爐膛發(fā)熱元件采用優(yōu)良MoSi2，爐膛采用陶瓷纖維材料，保溫性能好，經(jīng)久耐用，抗拉強(qiáng)度高，無(wú)雜球，純度高，節(jié)能效果明顯
雙層外殼結(jié)構(gòu) 配備冷風(fēng)系統(tǒng)雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風(fēng)扇，爐體表面溫度安全不燙手，一體式不可打開(kāi)爐門(mén)，保溫效果好
可無(wú)人值守情況下操作內(nèi)置PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，具有過(guò)熱和斷開(kāi)熱電偶斷開(kāi)保護(hù)； 超溫保護(hù)和報(bào)警允許在無(wú)人值守的情況下操作
技術(shù)參數(shù)
| 加熱系統(tǒng)（管式爐） | |
| 最高溫度 | 1700 ℃ |
| 工作溫度 | 1600℃ |
| 顯示 | LED顯示屏 |
| 管徑 | 80mm（外徑）（其他尺寸可按客戶(hù)需求定制） |
| 管材 | 剛玉管 |
| 熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220+220+220mm （其他尺寸可按客戶(hù)需求定制） |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 |
| 加熱速率 | 建議0-10℃/min |
| 溫度控制 |
● PID自動(dòng)通過(guò)SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角觸發(fā)，限流電阻器。 ● 30個(gè)可編程段，用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。 ● 內(nèi)置PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，具有過(guò)熱和熱電偶損壞保護(hù)功能。 ● 超溫保護(hù)和報(bào)警，允許在無(wú)人值守的情況下操作。 |
| 熱電偶 |
3個(gè)熱電偶（測(cè)量和溫度控制功能），位于每個(gè)熱區(qū)的中間（管道外側(cè)）
1個(gè)熱電偶（僅測(cè)量溫度），位于管內(nèi)。 |
| 溫控精度 | ±1℃ |
| 爐膛結(jié)構(gòu) |
雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風(fēng)扇，用于冷卻爐體表面溫度
一體式不可打開(kāi)爐門(mén)。 |
| 真空法蘭 | 帶閥門(mén)的不銹鋼真空法蘭 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 4通道質(zhì)子流量計(jì)： | 一個(gè)氣體混合罐安裝在底部殼體上，帶有液體釋放閥 底殼左側(cè)安裝4個(gè)不銹鋼針閥，控制4種氣體混合 |
| 真空泵+真空計(jì)系統(tǒng) | |
| 真空泵+真空計(jì) | 配備旋轉(zhuǎn)葉片泵，使真空度達(dá)到10Pa（冷卻狀態(tài)） |
注意事項(xiàng)：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.02MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén)，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型，以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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