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石墨烯CVD生長爐
產(chǎn)品型號：
主要用途：適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、二維材料生長、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
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設備介紹
KJ-T1200-S60K1-3Z是鄭州科佳電爐研發(fā)生產(chǎn)的一款CVD管式爐，是專用的石墨烯薄膜生長爐。爐底采用滑軌式設計，可以手動左右移動爐子，使爐管暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。本設備也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。產(chǎn)品優(yōu)勢
滑軌式設計 可快速降溫爐底滑軌式設計，可以左右移動爐子，使爐管暴露在室溫環(huán)境下實現(xiàn)快速降溫
高純石英爐管 爐管采用高純石英材質，耐高溫耐酸堿腐蝕，熱穩(wěn)定性好
雙層殼體加裝風冷系統(tǒng)上開啟結構爐門，取放爐管方便，裝有風冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內
技術參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 石墨烯CVD生長爐 | |
| 型號 | KJ-1200-S60K1-3Z | |
| 滑軌管式爐 | 爐體結構 | 滑軌式 |
| 最高工作溫度 | 1200℃ | |
| 持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱速率 | 建議≤10℃/min | |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm 單溫區(qū) （其他尺寸可按客戶需求定制） | |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | N型 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 爐管直徑 | Φ50，Φ60，Φ80都可用 （其他尺寸可按客戶需求定制） | |
| 爐管材質 | 高純石英管 | |
| 溫度控制器 | PID智能程序控溫 | |
| 真空法蘭 | 真空法蘭采用304不銹鋼制作 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍 注：法蘭可選結構，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭 |
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| 真空泵系統(tǒng) | 旋片真空泵帶數(shù)字真空計 （包含KF25接口和可移動箱體） |
極限真空度 10-3 Torr. 爐管內真空度 10-2 Torr. 備注：用戶可根據(jù)真空度要求不同可選用旋片真泵、擴散泵組，分子泵組 |
質量流量計 |
3路高精度質量流量計: 底部安裝有一個混氣罐，左側安裝有3個不銹鋼針閥，可手動控制3種氣體的流量。 |
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| 注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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| 售后服務 | 質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍） | |
注意事項：
1、設備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；
3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。 。