獲取報價
即刻留言 
添加微信咨詢報價服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強CVD系統(tǒng)(PECVD)
混氣管式PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號： KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S
主要用途： 該設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層等領(lǐng)域。
圖片點擊可放大
設(shè)備介紹
KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）。
產(chǎn)品優(yōu)勢
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
微電腦PID控制器，操作簡便操作簡便，控溫準(zhǔn)確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行
高真空分子泵組，性能可靠性能可靠：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強度高、性能穩(wěn)定； 潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/p>
技術(shù)參數(shù)
| 管式爐系統(tǒng) | |
|
爐管尺寸 |
直徑60mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
|
加熱區(qū)長度 |
440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
|
工作溫度 |
≤1100℃ |
|
最高溫度 |
1200℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 爐膛材質(zhì) | 采用高純氧化鋁纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強 |
|
控溫方式 |
智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
| 真空系統(tǒng) | |
|
高真空分子泵組，高真空復(fù)合真空計
采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接 |
|
|
質(zhì)子流量計 |
|
|
高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量 出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計管道，標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭 |
|
|
射頻電源系統(tǒng) |
|
|
輸出功率 |
50-500W可調(diào)±1% |
| 售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保、終身保修 |
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報價、方案設(shè)計等服務(wù)，我們會盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。 。