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產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S5030-H
主要用途:廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD增加功能容易,可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。 等離子增強(qiáng)化學(xué)沉積系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜
薄膜應(yīng)力大小可調(diào)可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小
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產(chǎn)品名稱 |
高真空PECVD設(shè)備 |
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滑軌管式爐部分 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-T1200-S5030-H |
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爐管尺寸 |
Φ50mmX1600mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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爐管材質(zhì) |
石英管 |
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加熱區(qū) |
300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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工作溫度 |
≤1100℃ |
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最高溫度 |
1200℃ |
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溫控方式 |
N型熱電偶 |
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控制方式 |
觸屏控制,帶獨(dú)立搖臂,可以根據(jù)實(shí)際使用需求,調(diào)節(jié)溫控屏的角度,使用更方便 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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溫控保護(hù) |
具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
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升溫速率 |
建議≤10ºC/min |
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加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
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爐膛材料 |
氧化鋁多晶纖維 |
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爐體結(jié)構(gòu) |
爐體帶滑軌,可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫 |
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法蘭接頭 |
標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
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密封系統(tǒng) |
該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。 |
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殼體 |
不銹鋼殼體 |
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選配 |
輔助降溫風(fēng)扇 |
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真空系統(tǒng)部分 |
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名稱 |
真空系統(tǒng) |
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主要參數(shù) |
1.采用進(jìn)口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達(dá)10-3pa 2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連; 3.數(shù)字式真空顯示,測(cè)量精度高 |
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氣路系統(tǒng)部分 |
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名稱 |
四路質(zhì)量流量計(jì) |
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主要參數(shù) |
四通道精密質(zhì)量流量計(jì):觸屏控制,數(shù)字顯示,自動(dòng)控制。 4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體; 進(jìn)出氣口:3進(jìn)1出 流量控制:手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) |
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等離子電源部分 |
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名稱 |
500W等離子電源 |
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售后服務(wù) |
質(zhì)保一年,終身保修(耗材類(lèi):高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍) |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!
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