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鄭州科佳電爐
讓科技改變材料!
產(chǎn)品中心

高真空PECVD設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S5030-H

主要用途:廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

在線咨詢報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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設(shè)備介紹

      PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD增加功能容易,可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能,PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。 等離子增強(qiáng)化學(xué)沉積系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。K4i高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 成品質(zhì)量好

    PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

  • 沉積效果好

    等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

  • 薄膜應(yīng)力大小可調(diào)

    可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

高真空PECVD設(shè)備

滑軌管式爐部分

產(chǎn)品型號(hào)

KJ-T1200-S5030-H

爐管尺寸

Φ50mmX1600mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

爐管材質(zhì)

石英管

加熱區(qū)

300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

工作溫度

≤1100℃

最高溫度

1200℃

溫控方式

N型熱電偶

控制方式

觸屏控制,帶獨(dú)立搖臂,可以根據(jù)實(shí)際使用需求,調(diào)節(jié)溫控屏的角度,使用更方便

控溫精度

±1℃

溫控保護(hù)

具有超溫和斷偶保護(hù)功能

升溫速率

建議≤10ºC/min

加熱元件

含鉬電阻絲

爐膛材料

氧化鋁多晶纖維

爐體結(jié)構(gòu)

爐體帶滑軌,可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫

法蘭接頭

標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥

密封系統(tǒng)

該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。

殼體

不銹鋼殼體

選配

輔助降溫風(fēng)扇

真空系統(tǒng)部分

名稱

真空系統(tǒng)

主要參數(shù)

1.采用進(jìn)口安捷倫高真空分子泵組,極限真空度可達(dá)10-3pa

2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連;

3.數(shù)字式真空顯示,測(cè)量精度高

氣路系統(tǒng)部分

名稱

四路質(zhì)量流量計(jì)

主要參數(shù)

四通道精密質(zhì)量流量計(jì):觸屏控制,數(shù)字顯示,自動(dòng)控制。

4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體;

進(jìn)出氣口:3進(jìn)1出

流量控制:手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)

等離子電源部分

名稱

500W等離子電源

售后服務(wù)

質(zhì)保一年,終身保修(耗材類(lèi):高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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