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高真空PECVD設(shè)備(六通道)

產(chǎn)品型號:KJ-T1200-S60-6ZH-PE

主要用途:可應(yīng)用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜等各種薄膜等

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設(shè)備介紹 

        六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,高真空系統(tǒng),六通道氣路等組成的等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其很低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。該等離子化學(xué)沉積系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可應(yīng)用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜等各種薄膜等,可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機觸摸屏、平板電腦、傳感器等領(lǐng)域。tKc高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 成品質(zhì)量好

    PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

  • 沉積效果好

    等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

  • 智能多段PID可編程

    溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 六通道高真空PECVD系統(tǒng)
管式爐部分
產(chǎn)品型號 KJ-T1200-S60-6ZH-PE
爐管尺寸 Φ60mmX1400mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 石英管
加熱區(qū) 400mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
工作溫度 ≤1100℃
最高溫度 1200℃
溫控方式 N型熱電偶
控制方式 30段可編程序控溫
控溫精度 ±1℃
溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率 建議≤10℃/min   
加熱元件 含鉬電阻絲
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。
 真空系統(tǒng)部分
名稱 真空系統(tǒng)
主要參數(shù) 1.采用高真空分子泵組,極限真空度可達10-3pa
2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;
3.數(shù)字式真空顯示,測量精度高
氣路系統(tǒng)部分
名稱 六路質(zhì)量流量計
主要參數(shù) 六通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。
進出氣口:6進1出
流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)
等離子電源部分
名稱 500W等離子電源
功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 連續(xù)輸出
冷卻方式 風(fēng)冷
售后服務(wù) 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。 。

 

 

 

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