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4路質(zhì)子流量計
產(chǎn)品型號：4路質(zhì)子流量計
主要用途：可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。
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一、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、技術(shù)參數(shù)：
氣路通道： 4
氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。
接 口： Φ6
顯 示： LED
工作環(huán)境溫度: 5~45℃
流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細技術(shù)參數(shù)請查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 閥：Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置：
1、質(zhì)子流量計：4個
2、壓力表：1個
3、截止閥門：5個
4、穿板接頭：5個
5、閥門接頭：2個
6、鋼瓶接頭: 4個
7、聚四氟乙烯管：20M
8、混氣罐：1個
9、爐架：1臺
質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
主要指標:
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）
- 準確度：±1.5% F.S
- 線性：±0.5～1.5% F.S
- 重復(fù)精度：±0.2% F.S
- 響應(yīng)時間：10S
- 氣壓降：<0.01MPa
- 最大壓力：3MP
- 工作環(huán)境溫度：5～45℃
- 輸入輸出信號：0～+5.00V
- 電源：+15V 50mA -15V 50mA
- 外形尺寸：158*30*110
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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