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RTP快速退火爐

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產(chǎn)品型號:KJ-RTP1000-DZ

主要用途:該定制RTP快速退火爐采用紅外燈管加熱,最快升溫速度為 50°C/秒,是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備,專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品(尺寸可達3")退火而設(shè)計。

在線咨詢報價聯(lián)系熱線:177-3714-9370

可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。

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設(shè)備介紹

定制RTP快速退火爐由RTP滑軌管式爐、多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成,專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品(尺寸可達3")退火而設(shè)計。這款管式爐是采用紅外燈加熱,升溫速度可達50℃/秒。 30 段準(zhǔn)確溫度控制,精度為 ±1°C,RS485接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。該快速熱處理管式爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備,它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計,計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。Z0n高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 加熱速度快

    采用紅外燈加熱,加熱速度快,升溫速度可達50℃/秒

  • 溫控精準(zhǔn)

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),30 段準(zhǔn)確溫度控制,精度為?±1°C

  • 可快速退火

    爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

定制RTP快速退火爐

型號 KJ-RTP1000-DZ

第一部分: 管式爐

產(chǎn)品名稱

開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐  

工作溫度

≤1000℃

控 制 器

LCD觸摸屏

爐管尺寸

石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口  
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制

加熱區(qū)

300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制

爐型

開啟式

加熱元件

鹵素?zé)艏訜? 

升溫速率

≤50℃/S

測溫元件

N型熱電偶

溫度控制器

30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

 第二部分  混氣系統(tǒng)

量程

MFC1:氧氣(O2)0-200sccm

MFC2:氬氣(Ar)0-200sccm

第三部分 真空系統(tǒng)

旋片式真空泵+排氣過濾器+數(shù)字真空表

 

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關(guān)于鄭州科佳

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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