獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價(jià)服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 管式爐 > 快速退火爐
RTP真空快速退火爐
圖片點(diǎn)擊可放大
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-TRTP1000
主要用途：真空RTP退火爐可在真空、氣氛環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。
在線咨詢報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線：177-3714-9370
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用鹵素?zé)艏訜?，升溫速度可達(dá)50℃/秒，PID自動(dòng)控制，30段可編程序，它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片的退火而設(shè)計(jì)。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
鹵素?zé)艏訜?升溫速度快加熱元件采用鹵素?zé)艏訜?，升溫速度可達(dá)50℃/秒
底部滑軌設(shè)計(jì) 實(shí)現(xiàn)快速冷卻爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻
30段高精度數(shù)字可編程30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器，控溫精度高，可達(dá)±1℃
技術(shù)參數(shù)
| 處理晶圓尺寸：2英寸 | 處理晶圓尺寸：4英寸 | 處理晶圓尺寸：6英寸 | |||
| 爐管外徑 | 100MM | 爐管外徑 | 110-150MM | 爐管外徑 | 180MM |
| 加熱區(qū)尺寸 | 200MM | 加熱區(qū)尺寸 | 300MM | 加熱區(qū)尺寸 | 400MM |
更多尺寸可根據(jù)客戶需求定制
| 產(chǎn)品名稱 | RTP 快速退火爐 |
| 工作溫度 | 900℃ |
| 控 制 器 | LED(可選配LCD觸屏) |
| 爐 膛 | 開(kāi)啟式 滑道式 |
| 爐管尺寸 | 根據(jù)需求尺寸定制 |
| 加熱元件 | 鹵素?zé)?/span> |
| 升溫速率 | ≤50℃/S |
| 熱 電 偶 | 根據(jù)實(shí)際需要設(shè)計(jì)來(lái)配 |
| 溫度控制器 | 30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
| 特殊要求 | 具體細(xì)節(jié)可根據(jù)客戶需求定制（詳情歡迎來(lái)電咨詢我們） 1、可定制真空系統(tǒng) 2、可定制氣路系統(tǒng) 3、其他特殊工藝需求 |
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報(bào)價(jià)、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們會(huì)盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。