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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

1200度三溫區(qū)CVD管式爐

產(chǎn)品型號:KJ-1200T-S60LK3-3FZ

主要用途:該系統(tǒng)廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn),如半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

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設(shè)備介紹

        KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用高純氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。NKe高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 保溫節(jié)能爐膛

    內(nèi)爐膛表面涂有高純度氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度?

  • 安全防燙爐殼

    爐殼采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),用于降低殼體表面溫度

  • PID30段程序化控溫

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備名稱 溫區(qū)CVD管式爐
設(shè)備型號 KJ-1200T-S60LK3-3FZ
高溫爐殼 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),用于降低殼體表面溫度
加熱元件 電阻絲
最高工作溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議≤10 ℃/min
爐管材質(zhì)尺寸 石英管: 外徑: 80mm x  內(nèi)徑: 75 mm x 長度: 1000 mm 
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
加熱區(qū)長度 三溫區(qū):200+200+200 mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
控溫系統(tǒng) PID30段程序化控溫
控溫精度 +/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng) 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),最大漏氣率6 mtorr/min
真空泵 雙旋機(jī)械泵
真空顯示計(jì)   數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上 
混氣系統(tǒng) 三個(gè)質(zhì)量流量計(jì)
三路質(zhì)量量程分別為
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
內(nèi)部安裝有一混氣罐 
售后服務(wù) 質(zhì)保一年,終身保修

 

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

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 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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