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1200℃高溫真空CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
主要用途：高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
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設(shè)備介紹
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合，可以對多種氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。爐管兩端安裝真空法蘭，可以通過選配真空泵組來實現(xiàn)更高的真空度。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。為取得更快加熱速率，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得更快冷卻速率，可在樣品加熱后移動爐子到另一端，是低成本快速熱處理的理想爐子。
產(chǎn)品優(yōu)勢
雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度很高，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足多種快速燒結(jié)的要求
微電腦PID控制器，操作簡便操作簡便，控溫準(zhǔn)確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行
技術(shù)參數(shù)
| 結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，用于降低爐體表面溫度 | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 工作溫度 | ≤1100°C | |
| 最高溫度 | 1200°C | |
| 最大升溫速率 | 建議10°C/min | |
| 加熱區(qū)長度 | 400mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） | |
| 溫控系統(tǒng) | 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR可設(shè)置30段升降溫程序。 | |
| 控溫精度 | +/-1°C | |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管 內(nèi)徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長度:1000 mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
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| 密封法蘭 | 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計，和閥門通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr | |
| 真空泵 | 真空泵：一個雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr | |
| 氣體流量計 | 4個浮子流量計，可同時混入4種不同氣體。 四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動控制 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！??！
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