獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價(jià)服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)
箱式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：KJ-M1200(1400/1700)-Z
主要用途：應(yīng)用于大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。廣泛用于高等院校、科研單位、工礦企業(yè)進(jìn)行：高溫實(shí)驗(yàn)、材料燒結(jié)、成分分析，質(zhì)量檢測等熱處理工作。
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
箱式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用爐體和智能控制一體化設(shè)計(jì)，整個(gè)爐體美觀、大方。PID可編程序智能控溫，移相觸發(fā)，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷循環(huán)系統(tǒng)，爐門底部升降，節(jié)能安全?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。 該系列產(chǎn)品可廣泛用于高等院校、科研單位、工礦企業(yè)進(jìn)行：高溫實(shí)驗(yàn)、材料燒結(jié)、成分分析，質(zhì)量檢測等熱處理工作。
產(chǎn)品優(yōu)勢
工作溫度可選不同的加熱元件達(dá)到最高1200℃、1400℃、1700℃，溫場均衡，可根據(jù)需求選擇溫度
適用范圍廣是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等
可設(shè)置30段升降溫程序控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，移相觸發(fā)，控溫精度可以達(dá)到±1℃
技術(shù)參數(shù)
|
型號 |
KJ-M1200-Z |
KJ-M1400-Z |
KJ-M1700-Z |
|
|
最高溫度 |
1200℃ |
1400℃ |
1700℃ |
|
|
工作溫度 |
≤1100℃ |
≤1300℃ |
≤1600℃ |
|
|
加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
優(yōu)質(zhì)硅碳棒 |
優(yōu)質(zhì)硅鉬棒 |
|
|
升降方式 |
底部液壓升降 |
|||
|
熱電偶 |
N型 |
S型 |
B 型 |
|
|
爐膛尺寸（mm） |
150x150x150 |
300x300x300 |
500x500x500 |
|
|
200x200x200 |
300x300x400 |
600x600x600 |
||
|
200x200x300 |
400x400x400 |
800x800x800 |
||
|
爐膛材質(zhì) |
氧化鋁陶瓷纖維 |
氧化鋁陶瓷纖維 |
氧化鋁陶瓷纖維 |
|
|
加熱速度 |
0-10℃/min |
0-10℃/min |
0-10℃/min |
|
|
溫控精度 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
|
|
其他規(guī)格可以按照客戶要求定制 |
||||
|
選配 |
坩堝、觸屏控溫、電腦溫控軟件等 |
|||
|
注意事項(xiàng) |
1.為了提升爐組件的壽命,建議升溫速率不超過10℃/min。 2.冷卻速率應(yīng)不超過5℃/min。 3.該爐無真空密封性，禁止通入有毒或爆炸性氣體。 4.在爐膛的表面上可能會出現(xiàn)小裂紋。這是一個(gè)正常的現(xiàn)象，不影響正常使用，裂紋可以用氧化鋁涂層修復(fù)。 5.加熱爐膛可更換 6.若燃燒物料釋放蒸氣或冒煙，請將爐膛放入通風(fēng)柜內(nèi)操作。 |
|||
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報(bào)價(jià)、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們會盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。