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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-1200T

主要用途:專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。

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設(shè)備介紹sh2高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

        該系統(tǒng)是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。爐底部裝有滑軌,可通過(guò)滑動(dòng)爐子可以實(shí)現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻。該cvd高溫爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。  sh2高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 可快速加熱和冷卻

    爐底部裝有滑軌,可通過(guò)滑動(dòng)爐子可以實(shí)現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻

  • 30段高精度可編程溫控

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  • 雙溫區(qū)獨(dú)立控溫

    雙溫區(qū)獨(dú)立控溫,可以在加熱區(qū)內(nèi)形成溫度梯度或較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng)

第一部分: 1200度滑道雙管雙溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號(hào)

1200度滑道管式爐

爐管尺寸

雙石英管
外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm
內(nèi)管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱區(qū)

220+220mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-10°C/min

熱電偶

 N型

第二部分: 水冷系統(tǒng)

法蘭

1.可選配水冷機(jī)

2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管.

第三部分  真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)

1. 防腐數(shù)顯真空計(jì)   

2.旋片泵,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

第四部分  混氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量計(jì)

量程:

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm  

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

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 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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