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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-TCVD1200-S80LK1

主要用途:適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

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設(shè)備介紹

       此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1200℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng),出色的氣體流量精度,易于操作,有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。dA7高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 dA7高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 智能控溫

    智能PID控制,多段可編程控溫和自整定功能,多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

  • 氣密性好

    可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便,密封性好,可抽真空通多種氣氛

  • 上開啟式結(jié)構(gòu)

    雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu),取放爐管方便,裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-TCVD1200-S80LK1
管式爐部分
爐膛模式 開啟式
顯示模式 LED
爐膛材料 氧化鋁耐火纖維
加熱元件 合金電阻絲
極限溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 0-10℃/min
加熱溫區(qū) 單溫區(qū)
溫區(qū)長(zhǎng)度 440mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 高純石英
爐管外徑 80mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
爐管長(zhǎng)度約 1000mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
密封方式 可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便,密封性好
控制模式 智能PID控制,具有多段可編程控溫和自整定功能
溫度曲線 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
報(bào)警:有超溫和斷偶報(bào)警
測(cè)溫元件 N型熱電偶
供氣系統(tǒng)
流 量 計(jì) 三路質(zhì)量流量計(jì)(量程可根據(jù)需要選擇)
A路量程 氮?dú)?/span> 0~1000SCCM
B路量程 甲烷 0~500SCCM
C路量程 乙烯 0~1000SCCM
混氣 內(nèi)含一個(gè)精密混氣罐
真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件)
真空泵抽速 2L/S抽速的機(jī)械旋片泵、波紋管及相關(guān)連接件,極限真空可實(shí)現(xiàn)10pa
數(shù)顯真空計(jì) 數(shù)顯電阻真空計(jì)集成在可移動(dòng)供氣系統(tǒng)箱體上
測(cè)量路數(shù) 1路
顯示方式 LED數(shù)字顯示

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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