設備介紹

LCD觸摸屏CVD高溫爐是一款適用于CVD工藝的高溫管式爐，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，用于降低殼體表面溫度；采用PID30段可編程序智能控溫，移相觸發(fā)；爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，保溫性能好，溫場均衡；智能控溫不需要人看守。這款CVD爐可用于碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 帶風冷系統(tǒng)的雙層殼體

  采用雙層結(jié)構(gòu)帶風冷系統(tǒng)，殼體表面溫度始終保持在安全范圍內(nèi)，內(nèi)爐膛表面涂有氧化鋁涂層,提高反射率及爐膛潔凈度?

• 可設置30段升降溫程序

  控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設置30段升降溫程序，控溫精度可以達到±1℃。

• 優(yōu)良的密封系統(tǒng)

  爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便，密封性強，帶閥門和相關接口，可抽真空充保護氣體。

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技術參數(shù)

設備名稱	LCD觸摸屏CVD高溫爐
設備型號	KJ-TCVD1100-S80CK1W
高溫爐殼體	采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，內(nèi)爐膛表面涂有氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
加熱元件	電阻絲
最高溫度	1200℃
工作溫度	≤1100℃
升溫速率	1-10 ℃/min
爐管材質(zhì)和尺寸	石英管: 直徑:80mm x  長度:1000 mm （其他尺寸可按客戶需求定制）
加熱區(qū)長度	總加熱區(qū)440mm
控制方式	LCD液晶觸屏
熱電偶	N型熱電偶，3個校準熱電偶測量的溫度直接顯示在爐體的液晶顯示屏上
控溫系統(tǒng)	PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng)	兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）
高真空站結(jié)構(gòu)	高真空站控制面板（基本用于分子泵速度和真空水平）： 內(nèi)部：渦輪分子真空泵站 渦輪泵和前級泵-干泵和石英管之間的所有連接、配件和閥門截面均符合KF-25連接標準。
真空度	6.7*10-3PA（空置、室溫條件下）
混氣系統(tǒng)	三個質(zhì)量流量計 三路質(zhì)量量程
售后服務	質(zhì)保一年，終身保修

 

 

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