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產(chǎn)品中心

1100度雙溫區(qū)滑道CVD

產(chǎn)品型號:KJ-TCVD1100-S60CK2

主要用途:這款雙溫區(qū)滑道CVD管式爐采用滑道設(shè)計(jì),可以通過導(dǎo)軌左右滑動實(shí)現(xiàn)物料的快冷和快熱;可同時(shí)連接6種氣源,氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進(jìn)行精確測量和控制。該高溫CVD設(shè)備主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

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設(shè)備介紹

這款1100度雙溫區(qū)滑道CVD系統(tǒng)主要由管式爐、高真空分子泵真空系統(tǒng)、6路質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)及其它連接件等組成;爐底采用滑道設(shè)計(jì),可以通過導(dǎo)軌左右滑動實(shí)現(xiàn)物料的快冷和快熱;可同時(shí)連接6種氣源,氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進(jìn)行精確測量和控制。該高溫CVD設(shè)備主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。33Y高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
33Y高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 拿取爐管方便

    該爐體采用上下“分-合”結(jié)構(gòu),易于取放爐管

  • 溫場均勻

    爐膛內(nèi)部設(shè)計(jì)有對流柵格,爐體內(nèi)部氣流容易形成上下對流循環(huán),有利于爐溫平衡,溫場均勻

  • 安全防燙

    整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,爐體表面可以安全觸摸無滾燙感覺

  • 加熱均勻

    爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布,并且發(fā)熱元件已做內(nèi)嵌式固化,加熱時(shí)熱能輻射均勻溫和

  • 氣體控制精準(zhǔn)

    氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進(jìn)行精確測量和控制

  • 真空度高

    高真空分子泵機(jī)組可對爐管進(jìn)行快速置換氣體、實(shí)現(xiàn)管內(nèi)高真空

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 CVD系統(tǒng)
型號 KJ-TCVD1200-S60CK2
雙溫區(qū)滑道管式爐部分
爐膛模式 開啟式
爐體滑動 可以通過導(dǎo)軌左右滑動實(shí)現(xiàn)物料的快冷和快熱
爐膛材料 氧化鋁耐火纖維
加熱元件 含鉬加熱絲
極限溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:≤10℃min
加熱溫區(qū) 雙溫區(qū)
溫區(qū)總長度 200+200mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 高純石英
爐管直徑 60mm(其他尺寸可按客戶需求定制)
密封方式 不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
其中一端用方便進(jìn)出物料的快接法蘭,預(yù)留進(jìn)氣品和出氣口
控制模式 多段智能PID程序控溫
測溫元件 N型熱電偶
報(bào)警 有超溫和斷偶報(bào)警
供氣系統(tǒng) KJ-6Z 
最大氣壓 3*10-3Pa
氣體通道 可同時(shí)連接6種氣源
質(zhì)量流量計(jì)和混氣罐都安裝在移動箱體內(nèi)
流 量 計(jì) 質(zhì)量流量計(jì)(可選其他量程   不影響價(jià)格)
氣路壓力 -0.1~0.15 MPa
截止閥 不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管 不銹鋼管
 真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件)
真空泵+數(shù)顯真空計(jì) 分子泵機(jī)組及相應(yīng)連接管件     
底部安滑輪方便移動,上方可放置高溫爐極限真空度可實(shí)現(xiàn)6.67*10-3pa
 

 

 

 

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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

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