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立式雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-TCVD1100-S40CK2
主要用途：該設(shè)備適用于CVD工藝，主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
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設(shè)備介紹
該立式雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)主要由：1200度雙溫區(qū)管式爐、3通道質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、2L/S抽速真空泵及相關(guān)連接件組成；設(shè)備下方加裝定向輪和萬向輪，設(shè)備整體占地尺寸小并可靈活移動(dòng)。該設(shè)備適用于CVD工藝，主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
多段智能PID程序控溫控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)，可編程30步
立式可開啟結(jié)構(gòu)雙層殼體立式可開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)
優(yōu)良的動(dòng)密封系統(tǒng)不銹鋼金屬法蘭，帶閥門和相關(guān)接口，拆裝方便，可抽真空，同時(shí)連接3種氣源至微正壓
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備名稱 | 立式CVD系統(tǒng) |
| 設(shè)備型號(hào) | KJ-TCVD1100-S40CK2 |
| 流化床管式爐部分 | |
| 最高溫度 | 1200 ℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 顯示 | LCD觸摸屏 |
| 管徑 | 外徑40mm*長(zhǎng)度1100mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 管材 | 高純石英管 |
| 加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)電阻絲 |
| 加熱速率 | 0~10℃/min |
| 溫度控制 | •多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)，可編程30步 •觸屏多段智能PID程序控溫 ，燒結(jié)數(shù)據(jù)可記錄并以excel形式導(dǎo)出 •內(nèi)置超溫和熱電偶故障保護(hù) |
| 熱電偶 | N型熱電偶測(cè)溫 |
| 密封方式 | 定制不銹鋼真空法蘭一套含密封 |
| 爐膛 | 雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風(fēng)扇，雙溫區(qū)立式開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便 爐膛材質(zhì)為氧化鋁耐火纖維，保溫節(jié)能 |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 供氣系統(tǒng)：3路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | |
| 氣體通道 | 可同時(shí)連接3種氣源至微正壓 |
| 流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì)（可選其他量程） |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
| 氣路連接管 | 1/4不銹鋼管 |
| 真空泵+真空計(jì)系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 真空泵配硅膠軟管可快速置換爐管內(nèi)氣體 |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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