獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價(jià)服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)
PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-TX1100-S50LK1
主要用途：適用于粉體材料的表面薄膜沉積，在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源（500W，13.56MHz）、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)管式爐組成。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺(tái)階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
爐管可旋轉(zhuǎn)爐管采用定制變徑爐管，管壁內(nèi)帶有石英撥料臺(tái)，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)
可通保護(hù)氣氛法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭，可以通入氮?dú)?、氬氣等惰性保護(hù)氣體，可在氣氛環(huán)境下使用
安全防護(hù)功能安全防護(hù)，具有超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后，自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能，操作安全可靠
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
智能多段PID可編程溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | PE旋轉(zhuǎn)管式爐 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-TX1100-S50LK1 |
| 爐膛材料 | 爐膛采用氧化鋁多晶纖維 |
| 爐管尺寸 | 兩端直徑約Φ30mm，中間尺寸Φ50mm 總長(zhǎng)約1200mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 加熱區(qū) | 200mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 石英爐管 |
| 工作溫度 | ≤1000℃ |
| 最高溫度 | 1100℃ |
| 加熱元件 | 合金加熱絲 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱速率 | 建議10℃/min，可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié) |
| 溫度測(cè)試元件 | N型熱電偶 |
| 控溫系統(tǒng) | 采用智能化多段PID可編程控制 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序； 1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 | 采用磁流體和真空法蘭的密封方式，密封效果更好 |
| 旋轉(zhuǎn)速率 | 15rpm/min 可調(diào) |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 旋轉(zhuǎn)方式，爐管可以360℃旋轉(zhuǎn)，爐體可傾斜 |
| 真空系統(tǒng) | 1、采用旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達(dá)10Pa，真空泵含粉塵過(guò)濾器 2、KF快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3、數(shù)顯真空計(jì)顯示 |
| 等離子電源系統(tǒng) | 功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)） 工作頻率 13.56MHZ+0.005% 工作模式 連續(xù)輸出 冷卻方式 風(fēng)冷 |
| 售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修（加熱元件、爐管等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍） |
| 注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn) 不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。 若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù) 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報(bào)價(jià)、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們會(huì)盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。