獲取報(bào)價(jià)
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價(jià)服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)
管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
PECVD等離子氣相沉積設(shè)備是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)主要用于金屬粉末鍍膜。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
氣密性好爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好
溫場(chǎng)均衡采用多晶纖維爐膛材料，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡
可傾斜可旋轉(zhuǎn)爐體可傾斜，爐管可正、反轉(zhuǎn)且轉(zhuǎn)速可調(diào)，使物料動(dòng)態(tài)加熱，受熱更均勻、和所通氣體可充分接觸反應(yīng)
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng) |
| 旋轉(zhuǎn)管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200 |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 660mm（220+220+220mm三溫區(qū)） （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英管（變徑管） |
| 爐管尺寸 | 變徑管 兩端尺寸OD:80mm* 400mm 中間尺寸OD:150mm* 400mm 總長(zhǎng)1200mm 爐管中間部分焊接揚(yáng)料板 （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≦1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 測(cè)溫元件 | 3支N型熱電偶分別控溫 |
| 溫控系統(tǒng) | 觸屏顯示，16段可儲(chǔ)藏曲線，30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制，能儲(chǔ)存和拷貝數(shù)據(jù) |
| 保溫溫控精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 建議0-10℃/min |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好 |
| 法 蘭 | 水冷密封法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥，方便拆卸，放取材料 |
| 傾斜結(jié)構(gòu) | 可傾斜傾斜角0-15°（傾斜角可調(diào)）方便進(jìn)出料 |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 可 360 度旋轉(zhuǎn)， 轉(zhuǎn)速0-15轉(zhuǎn)（速度可調(diào)） 材料在爐膛內(nèi)均勻受熱 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 分子泵組： 旋片泵+分子泵 |
| 主要參數(shù) | 極限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空擋板閥和可移動(dòng)箱體） |
| 真空顯示 | 實(shí)時(shí)顯示真空度 |
| 旋轉(zhuǎn)密封 | 磁流體密封，保證旋轉(zhuǎn)過程中還能抽真空 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 三路質(zhì)量流量計(jì) |
| 氣路 | 三路 |
| 流量控制 | 液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示 |
| 進(jìn)出氣口 | 三進(jìn)一出，內(nèi)置精密混氣罐 |
| 等離子射頻器部分 | |
| 名稱 | 射頻自動(dòng)匹配器 |
| 匹配功率范圍 | 0-500W |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 控制模式 | 手動(dòng)/自動(dòng) |
管式PECVD等離子氣相沉積系統(tǒng)實(shí)拍
在線留言
報(bào)價(jià)清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報(bào)價(jià)、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們會(huì)盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。