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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

四路高溫真空CVD設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S60K-4C

主要用途:化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

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設(shè)備介紹

       KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,最高溫度可以達(dá)到1200度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,可以通過(guò)選配真空泵組來(lái)實(shí)現(xiàn)更高的真空度。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加為取得更快的加熱速率,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得更快的冷卻速率,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。y4q高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 可快速加熱和降溫

    爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng),是低成本快速熱處理的理想爐子

  • 三溫區(qū)獨(dú)立控溫

    三溫區(qū)獨(dú)立控溫,可以在加熱區(qū)內(nèi)形成溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域

  • 智能PID多段程序控溫

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 四路高溫真空CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-S60K-4C
工作溫度 ≤1100°C
最高溫度 1200°C
加熱速率 建議:0- 10°C/min  
加熱區(qū) 三溫區(qū)
加熱區(qū)長(zhǎng)度 200+350+200mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
控溫精度 ±1°C
爐管直徑 直徑60mm,長(zhǎng)度約1200mm-1400mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
真空法蘭 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì),和閥門通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr
溫控 智能PID多段程序控溫
加熱曲線 30段可編程
質(zhì)子流量計(jì) 4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。
MFC 1范圍:  0~100 sccm
MFC 2范圍:  0~200 sccm
MFC 3范圍:  0~200 sccm
MFC 4范圍:  0~500 sccm
氣路:4路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個(gè)混氣罐。
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。

 

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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