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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

高溫化學氣相沉積系統(tǒng)/cvd鍍膜

產(chǎn)品型號:KJ-T1500CVD-DZ

主要用途:主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝研究

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設備介紹

此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。AHf高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 超溫保護和報警

    有超溫保護和報警,及過熱和熱電偶斷裂保護功能,允許在無人值守的情況下運行

  • 30段智能PID程序控溫

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃

  • 法蘭采用雙環(huán)密封技術

    氣密性好,法蘭上可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式

技術參數(shù)

產(chǎn)品名稱 定制高溫CVD系統(tǒng)
  沉積爐
產(chǎn)品型號 KJ-T1500CVD-DZ
爐膛模式 開啟式
爐膛材料 氧化鋁耐火纖維
加熱元件 U型硅鉬棒
極限溫度 1600℃高溫區(qū)     
工作溫度 ≤1500℃高溫區(qū)    
升溫速率 ≤10℃/min
加熱溫區(qū) 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū),可根據(jù)需求選擇
溫區(qū)總長度 200mm、300mm、400mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 剛玉管
爐管直徑 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
密封方式 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
底部法蘭有三個進氣口 方便進氣
底部法蘭加支架  方便工件放在沉積爐低溫區(qū)
控制模式 每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫
溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件 B型雙鉑銠熱電偶
供氣系統(tǒng)     集成在控制柜上
氣體通道 可同時連接多種氣源
流 量 計 浮子流量計
A路量程  1L/MIN
B路量程  1L/MIN
C路量程   1L/MIN
氣路壓力 -0.1~0.15 MPa
截止閥 不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管 1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
最高溫度 700℃
工作溫度 ≤500℃
爐膛尺寸 定制
開門方式 上開
進氣口 一個進氣口
出氣口 一個出氣口
售后服務 12個月質(zhì)保(易耗件及人為損壞除外),終身保修
 

 

 

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關于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。 。

 

 

 

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