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鄭州科佳電爐
讓科技改變材料!
產(chǎn)品中心

流化床CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:KJ-CVD-DZ

主要用途:主要用于物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究。

在線咨詢報價聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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設(shè)備介紹

      定制流化床CVD系統(tǒng),由真空立式管式爐、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,真空泵接口,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。該立式CVD管式爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。PZC高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 PZC高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 多段智能PID程序控溫

    控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃

  • 優(yōu)良的動密封系統(tǒng)

    不銹鋼金屬法蘭,帶閥門和相關(guān)接口,拆裝方便,可抽真空充保護氣體至微正壓

  • 立式可開啟結(jié)構(gòu)

    雙層殼體立式可開啟結(jié)構(gòu),取放爐管方便,裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

流化床CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號

KJ-CVD-DZ

立式管式爐部分

爐膛模式

立式開啟式

爐膛材料

進口氧化鋁耐火纖維

加熱元件

優(yōu)質(zhì)硅碳棒

極限溫度

1400℃

工作溫度

≤1300℃

升溫速率

建議≤10℃/min

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)、多溫區(qū)

溫區(qū)總長度

200mm、300mm、440mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

爐管材質(zhì)

高純石英管、剛玉管

爐管直徑

40、50、60、80、100mm可選
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

密封方式

304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)  

控制模式

多段智能PID程序控溫  預(yù)留通訊接口

控溫精度

±1℃

溫度曲線

多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

測溫元件

N型熱電偶

氣路系統(tǒng)部分

氣體通道

可同時連接多種氣源

流 量 計

質(zhì)量流量計

A路量程  

0~500SCCM

B路量程 

0~500SCCM

C路量程  

0~500SCCM

.....

 .....

氣路壓力

-0.1~0.15 MPa

截止閥

不銹鋼材質(zhì)

氣體連接管

1/4不銹鋼管

數(shù)顯真空計及連接件

數(shù)顯真空計  

數(shù)顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上

      真空泵組(相關(guān)連接配件)

真空泵

真空泵,及相應(yīng)連接管件 

售后服務(wù)

質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。 。

 

 

 

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