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混氣PECVD設備

產(chǎn)品型號:KJ-T1200 PECVD

主要用途:KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。

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設備介紹

         KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 成品質(zhì)量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

  • 更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

  • 所需溫度更低

    PECVD對于化學氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

技術參數(shù)

型號 KJ-T1200 PECVD
等離子射頻電源
 
輸出功率 5 -500W可調(diào),均勻性 ± 1%
RF頻率 13.56 MHz ±0.005%
反射功率 最大 200W
冷卻 空氣冷卻
管式爐部分
 
顯示 LED
形式 分體式和上部可打開
連續(xù)工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:0~10℃/min
溫區(qū)長度 500mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
加熱元件 含鉬電阻絲
熱電偶 N型
溫度均勻性 ±1℃
爐管尺寸 200m外徑 *長度1600mm
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
材質(zhì):石英管 
溫度控制 通SCR功率控制進行 PID 自動控制
加熱曲線 30步可編程
法蘭 不銹鋼帶閥真空法蘭 
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
質(zhì)量流量計 三款精密質(zhì)量流量計:
MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
(或根據(jù)您的要求)
底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
 
真空計 數(shù)字真空計 
 
 

 

 

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關于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。 。

 

 

 

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