2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度達(dá)到最高點(diǎn),爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-PECVD-D1

主要用途:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜技術(shù)生長(zhǎng)的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。

在線咨詢報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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設(shè)備介紹

       PECVD管式爐系統(tǒng)由:射頻電源,管式爐加熱區(qū)系統(tǒng),質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體定量系統(tǒng)組成。采用專業(yè)加熱元件,爐膛保溫材料采用多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無(wú)雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于其他纖維材料。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜技術(shù)生長(zhǎng)的一種制備技術(shù)。我公司依據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)計(jì)制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。
 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

  • 整機(jī)能耗低

    爐膛采用節(jié)能材料制作,整機(jī)能耗明顯低于傳統(tǒng)電爐,節(jié)能環(huán)保

  • 多重安全防護(hù)

    超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠具有多重防護(hù)功能

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 PECVD
產(chǎn)品型號(hào) KJ-PECVD
500W 射頻電源
匹配功率范圍 0-500W+1%可調(diào)
工作頻率 13.56MHZ +- 0.005%
反射功率 最大200W
冷卻 風(fēng)冷
管式加熱系統(tǒng) 
滑道 帶滑道,可手動(dòng)滑動(dòng)爐膛,實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能
加熱區(qū)長(zhǎng)度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
爐管尺寸 60mm x1600mm (外徑x長(zhǎng))
(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
爐管材質(zhì) 高純石英管 
工作溫度 ≤1100℃
溫控系統(tǒng) 智能化30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制
溫控精度 ±1℃(具有超溫及斷偶報(bào)警功能)
加熱速率 建議0~10℃/min
加熱元件 電阻絲
可通氣體 氮?dú)?、氬氣等惰性氣體
測(cè)溫元件 熱電偶測(cè)溫
殼體結(jié)構(gòu) 雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng)
真空法蘭 不銹鋼法蘭,帶進(jìn)出氣口
供氣系統(tǒng) 四路精密質(zhì)子流量計(jì):
測(cè)量精度:±1.5% F.S.
通過(guò)觸屏(定制)來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量
真空系統(tǒng) 旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)10pa,
真空計(jì):數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度,精度高。
控壓系統(tǒng) 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設(shè)計(jì))
自動(dòng)化控制 觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質(zhì)量流量計(jì)以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時(shí)間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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