獲取報(bào)價
即刻留言 
添加微信咨詢報(bào)價服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)
石墨烯生長爐PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-T1200-S60LC-H2
主要用途：KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成?？蛇m用于石墨烯生長等
圖片點(diǎn)擊可放大
設(shè)備介紹
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成。數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；爐管連接部分采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用卡套連接，不漏氣；觸屏操作，操作簡單方便。這款PECVD等離子沉積設(shè)備可適用于石墨烯生長等。產(chǎn)品優(yōu)勢
成品質(zhì)量好具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
真空可達(dá)10Pa真空系統(tǒng)由旋片真空泵和數(shù)顯真空計(jì)組成，最高真空可達(dá)10Pa
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 石墨烯生長爐PECVD設(shè)備 |
| 開啟式滑軌管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S60LC-H2 |
| 爐管尺寸 | 直徑60mm*長度1600mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | N型熱電偶 |
| 控制方式 | 溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序； |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。 |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 滑軌結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)快速降溫 |
| 爐 管 | 石英爐管 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 真空系統(tǒng) |
| 主要參數(shù) |
采用旋片真空泵和數(shù)顯真空計(jì)組成，真空度可達(dá)10Pa |
| 名稱 | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
| 主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計(jì)：觸屏控制，數(shù)字顯示。 進(jìn)出氣口：4進(jìn)1出 |
| 等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調(diào)） |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 售后服務(wù) | 整機(jī)質(zhì)保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機(jī)贈送配件不屬于質(zhì)保范圍） |
在線留言
報(bào)價清晰 材料透明 省錢省心為您提供設(shè)備報(bào)價、方案設(shè)計(jì)等服務(wù)，我們會盡快積極響應(yīng)并回復(fù)！
聯(lián)系我們
鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。 。