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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

1200℃PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-1200-50*300-F3

主要用途:該P(yáng)ECVD管式爐度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧,性價(jià)比高,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。

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設(shè)備介紹

        PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。該P(yáng)ECVD管式爐溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧,性價(jià)比高,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等的理想選擇,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。Mgp高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

  • 所需溫度更低

    PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

  • 成品質(zhì)量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 1200℃PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號 KJ-PECVD-1200-50*300-F3
加熱系統(tǒng) 顯示 LED
最高溫度 1200℃
長期工作溫度 ≤1100℃
升溫速率  0~10℃/min 
溫區(qū)長度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
加熱元件 硅鉬棒
熱電偶 N型
溫度均勻性 ±1℃
爐管尺寸 直徑60 x 長度1200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
材質(zhì):氧化鋁
溫度控制 通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動控制
加熱過程 30步可編程
最大工作壓力 0.02MPa
真空系統(tǒng) 旋片泵  冷態(tài)極限真空10Pa   
真空計(jì) 數(shù)顯真空計(jì)
真空法蘭 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
質(zhì)量流量計(jì) 流量范圍 CO2(流量范圍:0-200 sccm
CH4(流量范圍:0-200 sccm)
N2 流量范圍(流量范圍:0-200 sccm)
等離子射頻發(fā)生器 輸出功率:0 -300W可調(diào),±1%穩(wěn)定性
射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% 穩(wěn)定性

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn);產(chǎn)品型號達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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