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卷對卷PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-T1200-JCY
主要用途：整套體系可在真空/氣氛保護環(huán)境下工作。 收放卷機構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣。
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設(shè)備介紹
卷對卷式PECVD是等離子增強型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長。設(shè)備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng)五部分，整套體系可在真空/氣氛保護環(huán)境下工作。 收放卷機構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣。產(chǎn)品優(yōu)勢
樣品速度穩(wěn)定收放卷機構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣
成品質(zhì)量好具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 卷對卷PECVD系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-JCY | |
| 1200℃雙溫區(qū)管式爐 | 加熱溫區(qū) | 雙溫區(qū) 200mm+200mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≤1200℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | φ80mm x 1400mm L（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） | |
| 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 | |
| 工作氣體 | 氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 | |
| 真空泵 | 旋片式真空泵 | |
| 極限真空度 | 10^-1Pa | |
| 三路質(zhì)量流量計 | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數(shù)量 | 三路 | |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | 1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
|
| 流量控制范圍 | ±1.5% | |
| S射頻電源 | 輸出功率 | 500W |
| 輸出精度 | ±1% | |
| 射頻頻率 | 13.56MHz | |
| 射頻穩(wěn)定度 | ±0.005% | |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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