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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-PE

主要用途:適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。

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設(shè)備介紹

    該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成,適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。
 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

  • 所需溫度更低

    PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

  • 成品質(zhì)量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱(chēng) PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-PE
外殼 不銹鋼
內(nèi)襯 兩層氧化鋁纖維
加熱元件 電阻絲
最高溫度 1200°C 
工作溫度 ≤1100 °C
溫度均勻 ±1°C
升溫速率 ≤10 °C/min
爐管尺寸 Φ200×1400mm(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
管材 優(yōu)質(zhì)石英管
加熱區(qū)長(zhǎng)度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
密封 法蘭
溫度控制 30 個(gè)可編程段,用于準(zhǔn)確控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。
內(nèi)置 PID 自動(dòng)調(diào)諧功能,具有過(guò)熱和熱電偶斷路保護(hù)。
過(guò)溫保護(hù)和警報(bào)允許在沒(méi)有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。
+/- 1 ºC 溫度精度。
準(zhǔn)確 ±1°C

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型,以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠(chǎng)前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

 

 

 

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