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六通道PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-PECVD-LM
主要用途：該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。
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設(shè)備介紹
該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。該P(yáng)ECVD管式爐通過(guò)射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài)，等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長(zhǎng)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
所需溫度更低PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度
成品質(zhì)量好具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | KJ-PECVD-LM | |
| 管式爐部分 | 顯示 | 觸摸屏 |
| 連續(xù)工作溫度. | ≤1100℃第一溫區(qū) ≤1100℃第二溫區(qū) ≤1600℃第三溫區(qū) |
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| 升溫速率 | 建議: 0~10℃/min | |
| 溫區(qū) | 220mm+220mm+220mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
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| 加熱元件 | 硅碳棒和硅鉬棒 | |
| 熱電偶 | N型和B型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 直徑:80 *長(zhǎng)度:1600mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
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| 材料：氧化鋁管 | ||
| 溫度控制 | 通過(guò)SCR功率控制的PID自動(dòng)控制 | |
| 傾斜功能 | 0-15度 （不建議在1100C溫度下使用傾斜功能，因?yàn)楣桡f棒加熱元件可能容易損壞。高溫時(shí)會(huì)變軟，請(qǐng)注意。） |
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| 加熱曲線 | 30步可編程 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 右側(cè)法蘭為滑動(dòng)式。 法蘭應(yīng)為水冷式。 |
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| 等離子射頻 |
功率范圍 | 0-300W（連續(xù)可調(diào)） |
| 控制模式 | 手動(dòng) | |
| 工作頻率 | 13.56MHz | |
| 報(bào)警保護(hù) | 直流過(guò)載保護(hù)、直流/放大器過(guò)熱保護(hù)、反射功率保護(hù)、匹配超時(shí)保護(hù) | |
| 射頻輸出阻抗接口（50Ω） | N型 | |
| 功率穩(wěn)定性 | ≤ 1 W | |
| 最大反射功率 | 200 W | |
| 真空泵系統(tǒng) | 分子泵系統(tǒng) | 極限真空：6.7*10-3Pa。 包括數(shù)字真空計(jì) |
| 質(zhì)量流量計(jì) （LCD觸摸屏） |
六個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC精度為：±1.5%F.S。 |
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| 液體蒸氣發(fā)電機(jī) | 包括自動(dòng)液體蒸汽發(fā)生器，并連接到ALD閥 | |
| 17MHZ超聲波霧化 |
配超聲波霧化器，液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。 •液體罐標(biāo)配不銹鋼，并用氟橡膠密封件密封； •霧化量大小可控制； |
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| 液體注入系統(tǒng) | •一套用于自動(dòng)液體供給的標(biāo)準(zhǔn)液體注入泵 •注射泵配有注射器，用于容納液體； •注射泵速度可調(diào)節(jié) |
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| 水冷卻器 | 用于冷卻水冷法蘭和真空泵。 | |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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