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高溫PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號：KJ-T1600-PECVD
主要用途：1、與普通PECVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞； 2、可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果； 3、爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)最大溫差為400℃； 4、帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。
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設(shè)備介紹
科佳高溫PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合，爐底裝有滑軌，可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果。該P(yáng)ECVD通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài)，等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長。產(chǎn)品優(yōu)勢
沉積溫度低與普通PECVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞
可快速升降溫爐底裝有滑軌，可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
雙溫區(qū)設(shè)計爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)最大溫差為400℃
帶有預(yù)熱爐帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合
智能PID多段編程溫控通過SCR功率控制的PID自動控制加熱曲線，30步可編程
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 高溫PECVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1600-PECVD |
| 爐膛 | 分體式，上部可打開 |
| 最高溫度 | 1600度 |
| 工作溫度 | ≤1500℃ |
| 加熱速率 | 0~10℃/min |
| 溫區(qū) | 200mm+200+200mm |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 |
| 熱電偶 | B型熱電偶 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | 80mm OD x 3200 mm L |
| 管子材質(zhì) | 石英管 |
| 溫度控制 | 通過SCR功率控制的PID自動控制 |
| 加熱曲線 | 30步可編程 |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 |
| 輸出功率 | 5-300W可調(diào)，穩(wěn)定性±1% |
| 射頻頻率 | 13.56 MHz±0.005%穩(wěn)定性 |
| 真空泵 | 旋片式真空泵+分子泵系統(tǒng) |
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鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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