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鄭州科佳電爐
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產(chǎn)品中心

搖臂式集成控制PECVD設(shè)備

產(chǎn)品型號:KJ-PECVD-L

主要用途:科佳高真空PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長,,如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)。

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設(shè)備介紹

科佳高真空PECVD設(shè)備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài),等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長。mCq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
 

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 更好的沉積效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

  • 所需溫度更低

    PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

  • 成品質(zhì)量好

    具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 搖臂式集成控制PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號 KJ-PECVD
第一部分滑軌管式爐部分
爐管尺寸 Φ25mmX1600mm(最終長度取決于最終設(shè)計)
爐管材料 石英管
加熱區(qū) 200+200mm (雙溫區(qū))
工作溫度 ≤1100°C
最高溫度 1200°C 
溫度控制方法 N型熱電偶
控制方式 觸摸屏控制,帶獨立搖臂,可根據(jù)實際需要調(diào)節(jié)溫控屏角度,使用更方便
溫度控制精度 ±1℃
溫度控制保護 具有過熱和燒毀保護功能
加熱速率 建議≤10ºC/min,最大20ºC/min
加熱元件 電阻絲
工作電壓 交流220V單相50HZ/60HZ(電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率 4KW
爐膛材料 氧化鋁多晶纖維
爐膛結(jié)構(gòu) 爐體有滑軌,可實現(xiàn)快速加熱和冷卻
真空法蘭 標準配置配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng) 爐管和法蘭采用硅膠O型圈擠壓密封,拆卸方便,可反復(fù)拆卸,氣密性好。
外殼 碳鋼或不銹鋼外殼
可選 輔助冷卻風(fēng)扇
第二部分真空系統(tǒng)部分
名稱 真空系統(tǒng)
主要參數(shù) 1.采用中國品牌高真空分子泵組,極限真空度可達6.7x10-3pa(空冷狀態(tài))
2.KF25快速連接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥和法蘭,真空泵連接;
3、數(shù)字真空顯示,測量范圍為5×10-50-150mbar,測量精度高
第三部分供氣系統(tǒng)部分
名稱 四通質(zhì)量流量計
主要參數(shù) 四通道精密質(zhì)量流量計:觸摸屏控制、數(shù)字顯示、自動控制
1、流量范圍:MFC 1-MFC3:10-1000sccm可調(diào) 
MFC1:CH4 0-10sccm 
MFC2:H2 0-200sccm 
MFC3:0-200sccm 
MFC4:0-300sccm 
控制精度:±1.5%F.S。 
2.一個混合罐 
3.供氣系統(tǒng)左側(cè)安裝4個不銹鋼針閥,可手動控制4種氣體; 
4.進風(fēng)口和出風(fēng)口:4進1出 
流量控制:LCD觸摸屏 
注:不支持液體或腐蝕氣體。
第四部分等離子電源部分
名稱 500W等離子電源
功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
工作頻率 13.56兆赫+0.05%
操作模式 連續(xù)輸出
RF輸出阻抗接口 N型,內(nèi)螺紋(50Ω)
功率穩(wěn)定性 ≤2W
電源保護設(shè)置 直流過流保護、功率放大器過溫保護、反射功率保護
冷卻法 空氣冷卻

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。 。

 

 

 

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