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產(chǎn)品中心

管式PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200

主要用途:該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

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設(shè)備介紹

          PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜, 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。

工作原理

       PECVD技術(shù)是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤(pán))產(chǎn)生輝光放電,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。在反應(yīng)過(guò)程中,反應(yīng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入爐腔,逐漸擴(kuò)散至樣品表面,在射頻源激發(fā)的電場(chǎng)作用下,反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團(tuán)等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物,這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長(zhǎng)成島狀物,島狀物繼續(xù)生長(zhǎng)成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。其工藝原理示意圖如圖1所示。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

pecvd原理TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

PECVD設(shè)備工作原理示意圖TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

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基本結(jié)構(gòu)

      PECVD設(shè)備主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護(hù)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制等部分組成。其設(shè)備結(jié)構(gòu)框圖如下圖所示。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
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PECVD結(jié)構(gòu)示意圖TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、加熱元件采用摻鉬合金加熱絲,爐膛保溫保溫材料采用氧化鋁陶瓷纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無(wú)雜球,純度高,節(jié)能效果明顯。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機(jī)能耗明顯低于傳統(tǒng)產(chǎn)品,節(jié)能環(huán)保。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表,爐子加熱狀態(tài)一目了。TVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
5、超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱(chēng) 管式PECVD系統(tǒng)
滑道管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200
加熱區(qū)長(zhǎng)度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
爐管尺寸 直徑120*1600mm(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
工作溫度 ≦1100℃
最高溫度 1200℃
測(cè)溫元件 N型熱電偶
溫控系統(tǒng) 30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制
保溫溫控精度 ±1℃
溫控保護(hù) 具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率 0-10℃/min
加熱元件 電阻絲
爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡
密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好
爐  管 高純石英管
法   蘭 304不銹鋼密封法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥,方便拆卸,放取材料
爐體結(jié)構(gòu) 厚鋼板雙向滑軌,可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng),達(dá)到快速升溫和降溫
真空系統(tǒng)部分
名稱(chēng) 旋片泵
主要參數(shù) 極限真空度10Pa(包含KF25接口、真空擋板閥和可移動(dòng)箱體)
真空顯示 電阻數(shù)顯真空計(jì),顯示范圍標(biāo)準(zhǔn)大氣壓--10-1pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱(chēng) 四路質(zhì)量流量計(jì)
氣路 四路
流量控制 數(shù)字顯示,每路氣體含有針閥單獨(dú)控制,氣體流量自動(dòng)控制
進(jìn)出氣口 四進(jìn)一出,內(nèi)置精密混氣罐
鏈接方式 雙卡套接頭
流量范圍 MFC1-MFC4:0-500sccm(量程可選)
控制精度 ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差別
等離子射頻器部分
名稱(chēng) 射頻自動(dòng)匹配器
匹配功率范圍 0-500W
工作頻率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配時(shí)間 <3S
傳輸效率 >90%
 

 

 

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關(guān)于鄭州科佳

 

鄭州科佳電爐有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型,以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鄭州科佳鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠(chǎng)前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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