鏈帶式氣氛燒結(jié)爐中，Cu與O在適宜的溫度及適宜的氧含量條件下發(fā)生如下化學(xué)反應(yīng)：Cu＋O2→Cu2O，其實(shí)這就已經(jīng)完成了Cu的預(yù)氧化，但其實(shí)這個(gè)過程中合適的氧含量及適宜的溫度是很重要的，針對這一點(diǎn)，設(shè)備配備的是兩個(gè)高精度的氮氧質(zhì)量流量計(jì)，這兩個(gè)質(zhì)量流量計(jì)分別接在混配箱的兩個(gè)接口上（混配箱：預(yù)氧化時(shí)的氮氧混配裝置），同時(shí)，進(jìn)入到爐膛內(nèi)各溫區(qū)的氣體合成一路與混配箱的另一個(gè)接口相連。T3x高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　氮氧經(jīng)過混配，進(jìn)入到爐膛內(nèi)各個(gè)節(jié)點(diǎn)，高精度的質(zhì)量流量計(jì)保證了爐膛內(nèi)氧含量的可調(diào)節(jié)性。Cu與O2反應(yīng)在條件適宜時(shí)，形成Cu于Cu2O的共晶相，這就為DBC的高溫?zé)Y(jié)奠定了基礎(chǔ)。T3x高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　爐膛里面實(shí)際溫度與表現(xiàn)溫度相差10℃左右，爐膛真實(shí)的溫度在高溫平臺(tái)為1079～1081℃，需12.5min左右，在這樣的工藝曲線條件下，基片附著良好，測試條測試的附著力也在要求范圍內(nèi)（銅片與Al2O3基板的附著力大于60N／cm，拉力速度為50mm／min）。T3x高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
　　銅片與Al2O3基板單面附著后，表面會(huì)有一個(gè)彎曲的弧度，這是由于Cu與Al2O3的膨脹系數(shù)不同造成的。當(dāng)進(jìn)行第二面附著時(shí)，就會(huì)消除由于膨脹系數(shù)不同而造成的彎曲，整個(gè)表面會(huì)很平整。銅片與陶瓷基板之間無任何氣泡。T3x高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司