真空爐擴(kuò)散泵抽不上真空是什么原因造成的？如何解決？

1.擴(kuò)散泵或主閥氣缸有泄漏；

2.爐腔有泄漏；

打開閥門后，真空爐的真空度不降反升。說明確實(shí)有漏。反復(fù)啟動(dòng)是因?yàn)閿U(kuò)散泵本身有一個(gè)啟動(dòng)的真空度要求，進(jìn)口的國產(chǎn)的泵都有。真空度一般在2pa以內(nèi)擴(kuò)散泵才可以啟動(dòng)。所以真空度只要超過2pa以上，那這個(gè)高真空閥肯定就會(huì)關(guān)閉，所以問題就出在高真空閥上。使用真空氦氣檢漏就可以查出問題的所在。