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影響CVD沉積薄膜質(zhì)量的因素

作者:鄭州科佳來源：原創(chuàng) 發(fā)表時間：2021-06-15 10:28:24

在CVD技術(shù)中沉積溫度，進入反應(yīng)室混合氣體的總流量及總壓力，混合氣體中各氣相成分的分壓力和它們之間的相對比例，沉積時間，基片的性質(zhì)、形狀和在反應(yīng)室中的位置等都是影響CVD沉積膜的質(zhì)量因素，而這些因素之間既互有聯(lián)系、又互相影響。
下面簡單介紹一下沉積溫度對膜質(zhì)量的影響：
不同的沉積溫度不但使膜的沉積速率不同，而且在不同溫度下同一反應(yīng)體系，沉積薄膜可以是單晶、多晶或非晶，甚至很難發(fā)生沉積。例如，以H2為攜帶氣體，以SH4和HCL為1:1的混合氣體為反應(yīng)氣體，在硅單晶基片上外延時沉積溫度、生長速率和沉積層結(jié)構(gòu)的關(guān)系，因沉積溫度愈低，反應(yīng)生成的Si原子在基片表面的擴散和遷移愈困難，它們來不及排列到正常格點上，從而會造成大量的缺陷?；蛘哒f，溫度愈高，能夠使得在外延層中不產(chǎn)生缺陷，生長速率也愈高，沉積速率愈高，薄膜的結(jié)晶排列也逐步由雜亂轉(zhuǎn)變?yōu)檎R規(guī)則。